隨著微電子技術(shù)和納米技術(shù)的快速發(fā)展,光刻技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造和高精度微加工中的核心技術(shù)。尤其是半自動(dòng)光刻機(jī),憑借其較高的性價(jià)比和較為靈活的操作模式,已經(jīng)在許多高精度微加工領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。一、半自動(dòng)光刻機(jī)的工作原理光刻技術(shù)通過(guò)利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發(fā)生化學(xué)...
表面光電壓譜采用白光偏置光路激發(fā)材料;大功率*脈沖激光器,采用電磁屏蔽,無(wú)任何外界干擾,測(cè)試光路,水平與垂直可任意在線切換,實(shí)現(xiàn)固體樣品和液體樣品均可測(cè)試分析。光生載流子動(dòng)力學(xué)主要測(cè)試技術(shù),載流子動(dòng)力學(xué)測(cè)試技術(shù)主要有電學(xué)和譜學(xué)兩類,電學(xué)方法主要是光電化學(xué),測(cè)量方式又分時(shí)間域和頻率域,時(shí)間域方法主要有瞬態(tài)光電壓(TPV)和瞬態(tài)光電流(TPC),頻率域方法主要有電化學(xué)阻抗譜(EIS)和光強(qiáng)度調(diào)制光電壓譜(IPVS)和光強(qiáng)度調(diào)制光電流譜(IMPS)等。譜學(xué)方法主要是瞬態(tài)吸收光譜和瞬...
多功能磁控濺射儀由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè),用于制備各種金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜、磁控膜、光學(xué)膜、超導(dǎo)膜、傳感膜以及各種特殊需求的功能薄膜。磁控濺射儀的工作原理是指電子在電場(chǎng)E的作用下,在飛向基片過(guò)程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子,新電子飛向基片,Ar離子在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶...
狹縫擠出式涂布機(jī)是一款應(yīng)用狹縫擠出式涂布模頭對(duì)基材進(jìn)行非接觸式涂布的一款設(shè)備。該設(shè)備通過(guò)配置狹縫擠壓涂布模頭、精密計(jì)量供料系統(tǒng)與進(jìn)料閥體配合可實(shí)現(xiàn)連續(xù)涂布和條紋涂布兩種類型的涂布功能。設(shè)備涂布精度高,一致性和穩(wěn)定性好,廣泛應(yīng)用于鋰離子電池、FCCL、光學(xué)薄膜、膠帶以及各種功能薄膜行業(yè),狹縫擠出涂布方式,涂布精度高,涂層一致性好;供料閥體配合模頭墊片,可實(shí)現(xiàn)連續(xù)、間歇、條紋、網(wǎng)格等形狀的涂布;模頭根據(jù)客戶材料特性設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)超薄亞微米級(jí)涂布;計(jì)量泵供料,漿料封閉運(yùn)行,可自由設(shè)定...
深能級(jí)瞬態(tài)譜儀是半導(dǎo)體領(lǐng)域研究和檢測(cè)半導(dǎo)體雜質(zhì)、缺陷深能級(jí)、界面態(tài)等的重要儀器。根據(jù)半導(dǎo)體P-N結(jié)、金-半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容(△C~t)技術(shù)和深能級(jí)瞬態(tài)譜(DLTS)的發(fā)射率窗技術(shù)測(cè)量出的深能級(jí)瞬態(tài)譜,是一種具有高檢測(cè)靈敏度(檢測(cè)靈敏度通常為半導(dǎo)體材料中摻雜濟(jì)濃度的萬(wàn)分之一)的實(shí)驗(yàn)方法,能檢測(cè)半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級(jí)及界面態(tài)。通過(guò)對(duì)樣品的溫度掃描,可以給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級(jí)及界面態(tài)隨溫度(即能量)分布的DLTS譜,集成多種全自動(dòng)的測(cè)量模式及全...
表面光電壓譜主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料或者器件的TPV測(cè)試和機(jī)理分析,光催化材料TiO2、C3N4、CdS、磷化物等、催化材料、分子篩、太陽(yáng)能電池(單晶、多晶、染料敏化、鈣鈦礦)、光電化學(xué)的TPV、電化學(xué)材料的TPV等。光電壓譜采用白光偏置光路激發(fā)材料;大功率*脈沖激光器;采用專有技術(shù)的電磁屏蔽,無(wú)任何外界干擾;測(cè)試光路,水平與垂直可任意在線切換,實(shí)現(xiàn)固體樣品和液體樣品均可測(cè)試分析。光生載流子動(dòng)力學(xué)主要測(cè)試技術(shù),載流子動(dòng)力學(xué)測(cè)試技術(shù)主要有電學(xué)和譜學(xué)兩類.電學(xué)方法主要是光電化學(xué),測(cè)量...
氣溶膠粒徑譜儀觸摸屏式顯示和操作,集成網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器,實(shí)時(shí)顯示測(cè)量數(shù)據(jù),無(wú)需外接電腦,單臺(tái)儀器可以連續(xù)自動(dòng)測(cè)量數(shù)周,儀器配置標(biāo)準(zhǔn)接口,過(guò)程控制系統(tǒng)或通用程序可以控制該儀器,所以特別適用于控制和監(jiān)測(cè)。粉塵發(fā)生器用于測(cè)量不同高度的飄浮顆粒物。樣品流量由外置真空泵來(lái)維持供給,其流量大小由定流量孔口流量計(jì)來(lái)控制。儀器可實(shí)時(shí)檢測(cè)氣溶膠顆粒,粒徑范圍在0.25微米至32微米,具有31個(gè)粒徑通道,測(cè)量結(jié)果可顯示為顆粒數(shù)目濃度或選擇顯示為顆粒質(zhì)量濃度。粉塵發(fā)生器易于安裝、結(jié)構(gòu)靈活、使用方便,只需...
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